Главная · Софт
ПО управления литографом: от GDSII до пластины
Собственная разработка, ведёт задание от топологии до пластины. Без сторонней CAM-цепочки, без лицензионных зависимостей. Уровень MVP: всё перечисленное ниже уже работает на установке.
Что умеет
- Прямой импорт GDSII, слои, автоматическое разбиение на поля
- Массивы кристаллов / пошаговое мультиплицирование (step-and-repeat)
- Вспомогательная OPC-коррекция и матрица фокус–экспозиция
- Двухфазный контрастный автофокус в красном свете
- Безопасная для резиста подсветка: экспонирует только синий
- Время экспонирования для каждого поля и тестовые пластины с перебором дозы
- Карта высот подложки, Z для каждого поля
- Сервоперемещения по CANopen, блокировки экспонирования
- Конвейер обработки научной камеры, масштабная метка для каждого объектива
- Файлы проекта с обнаружением устаревших полей
Партнёрство
Ищу производственного партнёра и инвестора
Что я предлагаю: работающий Прототип 1.0, проект Прототипа 2.0, полную документацию и собственное программное обеспечение. От партнёра — производство, цепочка поставок и выход на рынок; структура сделки и объём инвестиций обсуждаются. Демонстрации и тестовое экспонирование образцов по договорённости.