Калибровка: установка измеряет сама себя
Камера ставится на столик сенсором вверх, в ту плоскость, где находилась бы пластина. Проектор рисует прямо на сенсоре, поэтому программа видит ровно то, что получил бы резист, — и по этому изображению измеряет геометрию, дозу и сшивку полей. Та же процедура переносится на Прототип 2.0.
Итог: допуски переносятся из механики в программу. Детали, направляющие и оптика не обязаны быть идеальными, и собирать установку идеально тоже не нужно — всё, что остаётся, измеряется и компенсируется. Поэтому детали дешевле, а сборка проще.
Что меняет калибровка
Перетащите разделитель. Измеренные половины — кадры камеры, снятые в плоскости пластины (один пиксель сенсора соответствует 3,75 мкм на подложке). Скомпенсированная половина белого поля иллюстрирует работу алгоритма коррекции на том же кадре.
Один квадратный кадр, экспонированный в 25 положениях столика и сведённый в одно изображение. До: поворот проектора относительно столика и неортогональность направляющих видны как наклонённые квадраты с неравными зазорами. После: каждое перемещение проходит через измеренную коррекцию 2 × 2.
Геометрия: одна матрица 2 × 2
Поворот проектора относительно столика, неортогональность направляющих X и Y и масштаб каждой оси измеряются вместе и применяются к каждому перемещению. Для субмикронного позиционирования на краю пластины 100 мм угол нужно знать с точностью около 4 угловых секунд.
Доза: попиксельная маска
Камера строит карту освещённости по полю; программа превращает её в маску ослабления на DMD и подбирает время экспонирования для каждого поля. Затем камера снова измеряет результат, и маска уточняется, пока поле не станет равномерным в пределах 2–3 %.
Освещённость равномерна в пределах 2–3 %
| Объектив | До | После | Самое тёмное / самое яркое |
|---|---|---|---|
| 10× | 48.7 % | 97.8 % | −2.2 % |
| 20× | 63.0 % | 97.9 % | −2.1 % |
| 40× | 70.0 % | 97.2 % | −2.8 % |
Равномерность здесь — отношение самых тусклых 2 % поля (или самого тёмного угла, если он хуже) к самым ярким 2 %, измеренное через объектив и усреднённое по 256 кадрам. Для каждого объектива своя маска; она уточняется проход за проходом, пока очередной проход не перестаёт её улучшать. Июль–август 2026.
Ищу производственного партнёра и инвестора
Что я предлагаю: работающий Прототип 1.0, проект Прототипа 2.0, полную документацию и собственное программное обеспечение. От партнёра — производство, цепочка поставок и выход на рынок; структура сделки и объём инвестиций обсуждаются. Демонстрации и тестовое экспонирование образцов по договорённости.