Фотолитография прямо из файла топологии. Без фотошаблонов, без установки совмещения и экспонирования, без ожидания — изменить дизайн значит изменить файл.
Прототип 1.0 построен и работает: он экспонирует реальные пластины и управляется собственным программным обеспечением. Прототип 2.0 — модульная субмикронная платформа перемещений, первым инструментом которой станет литограф, — в проектировании. Ищу производственного партнёра и инвестора.
Фото · массив кристаллов, экспонированный на Прототипе 1.0
Работающий литограф, платформа, в которую он вырастает, программное обеспечение, управляющее обоими, и калибровка, благодаря которой обычные компоненты дают субмикронную точность позиционирования.
Реальная съёмка
Настольная установка в корпусе: проекционная головка на DMD, светодиод 440 нм, координатный столик XY с замкнутым контуром по оптическим линейкам. Результаты на реальных пластинах, характеристики, применения.
CAD-рендер
Три одинаковых субмикронных линейных модуля образуют портал XYZ. Литограф — первый инструмент на нём; другая оптика крепится к тому же основанию.
Ведёт задание от GDSII до пластины: разбиение на поля, массивы кристаллов, контрастный автофокус, карта высот подложки и карта пластины в реальном времени.
Камера в плоскости пластины измеряет погрешности геометрии, дозы и сшивки полей, а программа их компенсирует: неравномерность освещённости — в пределах 2–3 %.
Оптику, механику, электронику и программное обеспечение этой установки спроектировал, собрал и довёл до рабочего состояния один человек. До этого — четыре года в Abisense (флуоресцентная томография), где я доводил научные приборы от прототипа до серийного производства, и оптические подсистемы для лаборатории нанобиотехнологий МФТИ.
Один инженер — риск для партнёра, поэтому проект построен так, чтобы его можно было передать: серийные промышленные компоненты (сервоприводы Delta на CANopen, DMD от TI, оптические линейки), детали, рассчитанные на контрактное производство, полная документация и собственное программное обеспечение.
Прямо, чтобы никому не пришлось это выискивать.
Что я предлагаю: работающий Прототип 1.0, проект Прототипа 2.0, полную документацию и собственное программное обеспечение. От партнёра — производство, цепочка поставок и выход на рынок; структура сделки и объём инвестиций обсуждаются. Демонстрации и тестовое экспонирование образцов по договорённости.