Прежде всего это прецизионная трёхосевая платформа перемещений; литограф — лишь одна из её конфигураций. Три одинаковых линейных модуля образуют портал XYZ, а всё, что над столиком, крепится к стандартной сетке оптического стола.
Все изображения на этой странице — CAD-рендеры: Прототип 2.0 в проектировании. Его характеристики — целевые, основанные на измерениях Прототипа 1.0.
Рендеры с точками интерактивны: наведите курсор на деталь или коснитесь её, чтобы узнать её назначение.
В проектировании · стадия CAD
Оптический столСтандартный оптический стол с резьбовыми отверстиями M6 с шагом 25 мм: обычная оптомеханика крепится прямо рядом с установкой.
Рама порталаДве стойки на опорной плите несут ось портала и крепятся болтами к оптическому столу.
Ось столикаПеремещает подложку. Тот же линейный модуль, что и выше: сервопривод, ШВП, направляющие с перекрёстными роликами и оптическая линейка.
Ось порталаВторая горизонтальная ось, на портале. Вместе с осью столика она даёт ход по XY не менее 100 × 100 мм.
Ось ZТот же модуль, установленный вертикально: 40 мм хода для фокусировки, на каретке — экспонирующая головка.
СервоприводыПо одному промышленному сервоприводу на каждую ось, все на одной шине CANopen.
Столик-держатель и стойка объективовВакуумный столик-держатель на поворотной оси — в разработке — рядом со стойкой для запасных объективов.
Экспонирующая головкаПроекционная оптика DMD с микроскопным объективом; камера смотрит через тот же оптический тракт. Головка снимается целиком и может быть заменена другой оптикой.
Платформа целиком: три одинаковых линейных модуля образуют портал XYZ, а экспонирующая головка крепится к каретке Z. Наведите курсор на точки или коснитесь их.
Субмикронный линейный модуль
Каждая ось — один и тот же блок: сервопривод, ШВП, направляющие с перекрёстными роликами и оптическая линейка, замкнутый контур, законченный самостоятельный узел — 100 нм в стандартном исполнении, 2,5 нм опционально. Отдельное продуктовое направление.
Тот же модуль работает и как ось Z.
Опорная плитаФрезерованная опорная плита, на которой стоят направляющие; крепится болтами к столу, раме или другому модулю.
КареткаПодвижная площадка. На сетку резьбовых отверстий M6×1 с шагом 25 мм напрямую ставятся оснастка, оптика или другой модуль.
Оптическая линейкаСтеклянная линейка со считывающей головкой измеряет фактическое положение каретки, и привод замыкает контур по этому показанию — 100 нм в стандартном исполнении, 2,5 нм опционально.
СервоприводСерводвигатель переменного тока на промышленной шине CANopen. Вращает ШВП через муфту.
Каретка с сеткой 25 мм / M6.
Опорная плитаФрезерованная опорная плита, на которой стоят направляющие; крепится болтами к столу, раме или другому модулю.
Направляющие с перекрёстными роликамиКаретку несут две пары направляющих с перекрёстными роликами: жёсткие, с плавным ходом и низким трением.
Винт и гайка ШВППреобразует вращение двигателя в прямолинейное перемещение. Гайка установлена в кронштейне под кареткой; конец винта вращается в фиксированной подшипниковой опоре.
Оптическая линейкаСтеклянная линейка со считывающей головкой измеряет фактическое положение каретки, и привод замыкает контур по этому показанию — 100 нм в стандартном исполнении, 2,5 нм опционально.
СервоприводСерводвигатель переменного тока на промышленной шине CANopen. Вращает ШВП через муфту.
Направляющие, винт и гайка ШВП.Оптическая линейка закрытого типа вдоль оси.Экспонирующая головка снимается и заменяется другой оптикой.
Подробности
Узел подложки: столик-держатель и объективы
Что изменилось по сравнению с Прототипом 1.0: открытый портал вместо закрытого корпуса, и каждый элемент оптического тракта стал сменным.
Ось столикаПеремещает подложку. Тот же линейный модуль, что и выше: сервопривод, ШВП, направляющие с перекрёстными роликами и оптическая линейка.
Поворотное основание и магазин объективовКомпактный двигатель под столиком-держателем будет поворачивать подложку для совмещения — в разработке. В том же корпусе хранятся запасные объективы.
Вакуумный столик-держательУдерживает подложку ровно во время экспонирования: кремниевые пластины до 4 дюймов, стекло или PCB.
Объектив 5×Широкое поле для поиска подложки и навигации по ней.
Объектив 10×10× / 0,5 NA: большее поле экспонирования на кадр.
Объектив 20×20× / 0,75 NA: самые мелкие элементы при меньшем поле на кадр.
Узел подложки: столик-держатель и магазин объективов 5×, 10× и 20×.
Одна база — разные приборы
Безмасочная литографияГоловка DMD, вакуумный столик-держатель, ПО экспонирования
Инспекционный микроскопизображающая оптика на том же столике
Флуоресцентная визуализацияфильтры, дихроичное зеркало, источник возбуждения
Что я предлагаю: работающий Прототип 1.0, проект Прототипа 2.0, полную документацию и собственное программное обеспечение. От партнёра — производство, цепочка поставок и выход на рынок; структура сделки и объём инвестиций обсуждаются. Демонстрации и тестовое экспонирование образцов по договорённости.
